PROJETS DE SALLES BLANCHES POUR L'INDUSTRIE DES PUCES, DE L'ÉLECTRONIQUE, DE LA MICROÉLECTRONIQUE
Atelier de purification de la microélectronique
L'atelier de purification de la microélectronique optique, également connu sous le nom de salle blanche de microélectronique optique ou de salle blanche de microélectronique optique, est désormais un élément indispensable et important des semi-conducteurs, des composants électroniques de précision, de la fabrication de cristaux liquides, de la fabrication d'instruments optiques, de la fabrication de circuits imprimés et de téléphones mobiles, ordinateurs et autres. les industries.facilité.Ces dernières années, en raison du développement innovant de la technologie, la demande de haute précision et de miniaturisation des produits est devenue plus urgente.Par exemple, la recherche et la fabrication de circuits intégrés ultra-larges sont devenues un projet auquel les pays du monde entier attachent une grande importance en matière de développement scientifique et technologique.Et le concept de conception et la technologie de construction de notre entreprise occupent une position de leader dans l'industrie.
Solutions d’ingénierie de purification optique et microélectronique :
Dans le processus de conception du projet de purification, l'analyse et la compréhension du schéma de conception technique de purification de l'industrie optique et microélectronique doivent être renforcées.Selon que le projet est un nouveau projet ou un ancien projet de rénovation d'usine, et combiné avec son processus de production spécifique, son processus de production et d'autres exigences pour déterminer ses besoins.Propreté, température et humidité.Ensuite, en fonction de la situation spécifique du projet, et en même temps en tenant compte de la capacité portante économique du fabricant, divers facteurs doivent être pris en compte pour déterminer le schéma d'épuration à adopter.Des solutions économiques, économes en énergie et pratiques.
L’ingénierie de purification de la microélectronique optique comprend généralement :
1. Zone de production propre
2. Salle auxiliaire propre (y compris la salle de purification du personnel, la salle de purification des matériaux et certains salons, etc.) salle de douche à air
3. Zone de gestion (y compris bureau, service, gestion et repos, etc.)
4. Zone d'équipement (y compris l'application du système de purification de l'air, la salle électrique, la salle d'eau de haute pureté et de gaz de haute pureté, la salle d'équipement de refroidissement et de chauffage)
Principe de purification de l'ingénierie de purification de la microélectronique optique :
Flux d'air→Purification du filtre à air primaire→Climatisation→Purification du filtre à air à efficacité moyenne→Alimentation en air du ventilateur→Pipeline→Sortie d'air de purification de filtre à air à haute efficacité→Souffler dans la pièce→Prenez la poussière, les bactéries et autres particules→Stores de retour d’air→Filtration d'air à efficacité primaire Répétez le processus ci-dessus pour atteindre l'objectif de purification.
Paramètres de purification de l'ingénierie de purification de la microélectronique optique
Le nombre de ventilation: niveau 100000≥15 fois ;niveau 10000≥20 fois;1000≥30 fois.Différence de pression : de l'atelier principal vers la pièce adjacente≥5Pa
Vitesse moyenne du vent : 10 niveaux, 100 niveaux 0,3-0,5 m/s ;température >16°C en hiver ;<26°C en été ;fluctuation±2°C.
La température est de 45 à 65 % ;l'humidité de l'atelier de poudre GMP est d'environ 50 % ;l'humidité de l'atelier électronique est légèrement plus élevée pour éviter l'électricité statique.
Bruit≤65 dB (A);le volume supplémentaire d'air frais représente 10 à 30 % du volume total d'alimentation en air ;éclairage 300LX.
